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BANNER传感器应用举例:晶圆检测 免费猫

发布时间:2020-02-17 14:16:16 阅读: 来源:汽动泵厂家

BANNER传感器应用举例:晶圆检测

目的:检测晶圆盒中的晶圆

应用:激光发射器发出细小光束,带0.02水平矩形光缝的接收器能保证光束完全被晶圆挡住。晶圆盒被安装在一个垂直运动的升降器上,当升降器上下运动时检测。

传感器:M12E2LD Q23SN6R w/AR19-00,加装一个0.5mm(0.020)矩形光缝

300mm晶圆检测

目的:检测300mm FOUP中晶圆的有无

应用:两个PicoDot传感器用来同时检测同一晶圆的边沿。如果只有一个传感器检测到了边沿,则认为晶圆错位,此方位也可用于检测双槽晶圆。对于短距离的应用,可选用PD45VN6C50.

传感器:PD45VN6C200

检测晶圆盒

目的:可靠检测各种颜色的晶圆盒

应用:晶圆盒由不同颜色的材料制成。VS1系列聚焦式传感器在焦点处具有很高的增益,使其不受晶圆盒颜色和材料的影响。

传感器:VS1AN5C10

检测晶圆是否探出

目的:检测是否有凸出于晶圆盒的晶圆

应用:向外凸出的晶圆容易被折断或损坏,这会减少产量并能导致停工。MD14BB6放大器配合SP8ER1远程传感器,可提供一个非常小(1.5mm)的有效光束,对射式最大的检测距离为300mm(12”)。

传感器:SP8ER1

放大器:MD14BB6

晶圆盒储存设备人身保护

目的:在半导体晶圆盒储存设备的机械手操作点进行人身保护

应用:设备中有一个活动的机械手,当有人遮挡光幕时,机械手将停止动作。

传感器:MICRO-SCREEN安全光幕,USDKT2024C4YP2

清洗槽中晶圆盒的检测

目的:检测清洗槽中晶圆盒的有无

应用:Teflon外壳的光纤安装在清洗槽中对称的两侧。Teflon包裹的光纤头不仅耐腐蚀而且在密封的液体容器中有很小的摩擦力。光纤还包含一个镜头以增大检测范围和有效光束。当清洗盒到位时,光束被阻断。

传感器:D12SN6FP

光纤:PIE46UT

晶圆中心的检测

目的:确定机械臂上晶圆的中心

应用:三个检测点用来检测机械臂上晶圆的中心。其中任何一条光束被阻断,系统控制器都会检测到。机械臂的编码器信息也输入到控制器,控制器分析传感器的输出以确定晶圆的位置。

传感器:D12SN6FP

光纤:PIT46UHT1

检测晶圆的凸出/原点位置的确认

目的:确认两个状态;是否有突出的晶圆,机械臂的原点位置

应用:在移动门关上之前,对射式的M12发射器和EZ-BEAM接收器用来检测是否有晶圆凸出于晶圆盒icoDot系列传感器,具有精密的聚焦点用来检测晶圆的边缘,以确定机械臂的原点位置。

传感器:PD45VN6C200, S12接收器/M126发射器

真空环境中晶圆的检测

目的:检测真空环境中机械臂上是否有晶圆

应用:在晶圆的传送过程中,机械臂上必须保证有晶圆。但是从外部无法检测晶圆是否存在。VFT-M8MVS可以连接真空室外部提供的一束光信号(在这种应用场合要使用两个)。特殊型号光纤IMT753SMVF(须成对使用)没有使用环氧材料或塑料,因为这种材料会对真空室产生污染。在真空室外部,塑料光纤PIF66UMVFA将光信号传送到放大器D12SN6FP.

传感器:D12SN6FP

光纤:VFT-M8MVS,PIF66UMVFA ML753SMVF

晶圆平整度的检测

目的:检测晶圆平面是否垂直于传感器检测轴

应用:MINI-BEAM专家型直接反射式传感器,带可见红光光源,能很好检测光亮平面的水平度。传感器的“示教”功能能使其确定一个很小的光检测窗口,所以它能检测位置不正确的晶圆。

传感器:SME312DV

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